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YR PrismScan
632棱镜耦合仪用于块体光学材料、单层介质薄膜、平面光波导的光学参数表征,采用M‑line棱镜耦合测量原理,干式机械耦合无需耦合液;设备632.8nm标准工作波长,支持TE/TM双偏振模式测量;完整保留角度‑光强原始耦合曲线,实现测量过程可视化、数据可追溯。
WHW光机是国内自主研发生产棱镜耦合M‑line测试设备厂家。
YR PrismScan
632棱镜耦合仪面向光学材料研发、薄膜工艺验证、平面波导光子器件科研项目,可根据需方定制化科研方向进行设备改造升级。在交付设备基础上支持科研效果跟进,针对客户需求迭代改进,助力科研成果产出。
每交付一台设备,持续对非保密项目开展功能、结构迭代研究,可将客户研发可行性需求用于设备二次升级改造,充分发挥设备在科研项目中的效能。
一、仪器的主要功能:
1、材料性能评价:块体材料折射率,单层薄膜折射率n、膜厚d,波导有效折射率Neff。
2、功能指标评价:TE/TM双偏振模式分析、M‑line耦合曲线采集、导模模式识别、模式阶数判定。
3、操控指标评价:自动连续角度扫描、精密偏振控制、干式机械耦合压紧、块材/薄膜样品模式切换、原始数据导出保存。
4、过程指标评价:自动回零、扫描状态实时监控、模式自动识别拟合、测量结果复核追溯。
二、仪器主要构成:
1、He‑Ne激光器:632.8nm稳定激光输出;
2、偏振控制模组:偏振片+1/2波片,实现TE/TM偏振切换;
3、精密角度扫描转台模块;
4、耦合头与样品夹持压紧机构(干式耦合,无需耦合液);
5、光电探测模块,采集反射光强信号;
6、壁挂式/台式计算机控制系统(含集成电路);
7、自主Qt/C++棱镜耦合测量分析软件;
8、可扩展模块:不同规格耦合棱镜、1550nm光源模块、温控测量模块、波导损耗测量模块(选配);
三、仪器(示例)主要技术参数:
1.基础工作模块
1.1、测量原理:棱镜耦合/M‑line;
1.2、标准工作波长:632.8nm;
1.3、光源:He‑Ne激光器;
1.4、偏振方式:TE/TM双偏振切换;
1.5、扫描方式:自动连续角度扫描;
1.6、探测方式:光电探测;
2、测量性能指标
2.1、块体折射率测量:支持;
2.2、单层薄膜折射率、厚度联合分析:支持;
2.3、有效折射率Neff计算:支持;
2.4、折射率测量精度:±0.001;
2.5、折射率重复性:≤0.0005;
2.6、薄膜膜厚测量范围:0.5um ~ 150um;
3、软件系统
3.1、开发架构:Qt/C++桌面软件;
3.2、设备控制:设备连接、回零、扫描启停、状态监控;
3.3、数据处理:M‑line曲线实时显示、导模自动识别、参数拟合计算;
3.4、样品管理:块材模式、薄膜模式切换,样品参数录入;
3.5、数据输出:测量结果保存,原始Angle‑Voltage曲线导出,历史记录复核;
4、可扩展选配模块
4.1、多规格耦合棱镜套件;
4.2、1550nm工作波长版本;
4.3、温控测量模块,用于热光系数测试;
4.4、波导损耗测量模块;
4.5、多层薄膜拟合算法扩展授权;
5、典型适用样品
5.1块体材料:K9/BK7、熔融石英、蓝宝石、YAG、LiNbO₃、CaF₂、MgF₂等透明/半透明光学晶体与玻璃;
5.2薄膜样品:SiO₂、Si₃N₄、AlN、Al₂O₃、TiO₂、Ta₂O₅、ITO、AZO、PMMA、光刻胶等单层介质薄膜、透明导电膜;
5.3波导器件:玻璃波导、氮化硅波导、铌酸锂薄膜波导、AlN波导等平面集成光子波导;
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